中國版曼哈頓計畫 陸國產 EUV 原型機測試 ing 比外界預期提早數年

路透報導，大陸已在深圳實驗室打造出極紫外光（EUV）曝光機的原型機，這項被形容爲「中國曼哈頓計劃」的秘密工程案，由艾司摩爾（ASML）前工程師團隊打造，對ASML的EUV進行逆向工程。圖爲艾司摩爾工廠。（路透）