預防光罩被卡脖子!大基金三期再度出手 投了曝光工藝核心原材料

預防光罩被卡脖子,大基金三期向南通晶體認繳出資人民幣1億元,持股25%。 助力光罩國產化。圖爲示意圖。路透

預防光罩被卡脖子,大基金三期的新動作來了。這次是投了曝光工藝核心原材料。國投集新向南通晶體認繳出資人民幣1億元,持股25%。 南通晶體正透過深耕合成石英氣相沉積技術,加快推進高性能合成石英產業發展,助力光掩模(臺稱「光罩」)國產化。

大陸光罩基板目前仍依賴進口,美國康寧、德國賀利氏和日本信越等公司,幾乎壟斷產業需求供給。東興證券研報指出,高階光罩基版國產化率只有不到3%。

科創板日報報導,工商信息顯示,南通晶體發生工商變更,新增國家大基金三期旗下國投集新爲股東,同時註冊資本由人民幣3億增至人民幣4億。

在今年9月,國投集新曾出現在拓荊鍵科融資計劃當中,當時計劃以不超過人民幣4.5億元認繳拓荊鍵科新增註冊資本人民幣192萬元。該交易完成後,國投集新對拓荊鍵科的出資額佔本次增資後拓荊鍵科註冊資本的比例約12.7%。截至目前,以上融資計劃還未完成。

與此同時,國投集新的新目標已經浮出「水面」,向南通晶體認繳出資人民幣1億元,持股25%。南通晶體因此成爲國投集新今年公開完成的首個被投專案。

國投集新基金成立於2024年12月31日,出資額人民幣710.7億元,主要出資人是大基金三期,穿透股權後大股東爲國家開發投資集團有限公司,實控人爲國務院國資委。

被「相中」的南通晶體是主要從事境內高性能合成石英材料業務,在雷射、半導體及精密光學有着廣泛的應用。,南通晶體的總經理錢宜剛曾強調,公司正在加快推進高性能合成石英產業發展,助力光罩行業實現跨越。

「光掩模」(光罩)是錢宜剛對外多次重點提到的公司發展方向,而這也是晶片製造的上游關鍵材料。光罩基板是半導體制造中曝光工藝的核心材料,用於承載晶片設計圖案並轉移至晶圓,直接影響製程精度和良率;尤其在先進製程例如5奈米以下中佔據不可替代的戰略地位,是半導體產業鏈自主化的重要環節之一。

目前,光罩基板主要分爲樹脂基板和玻璃基板兩類,其中玻璃基板因高精度需求多采用高純石英玻璃材料。高純石英玻璃憑藉高純度、耐高溫和低熱膨脹係數等特性,廣泛應用於半導體曝光工藝中,對晶片圖案轉移的精度起關鍵作用。

南通晶體目前對外披露的是,透過深耕合成石英氣相沉積技術,致力解決制約合成石英關鍵技術突破和國產化自主可控問題,進而推動光掩模國產化。

南通晶體的大股東也與半導體行業有關聯,持有60%股份的母公司中天科技,是大陸最早的海底光電纜製造商之一,也是大陸光電纜品種最齊全的專業企業,主要產品包括光通信及網路、電力傳輸、海洋系列、新能源等,在大陸特種光纜市佔率高達30%到40%。

且中天科技正佈局光通信模組,已經建成用於400G 光模組和 400G/800G 矽光模組研發的 COB 高速光模組實驗室,成功掌握 COB 高速光模組的封裝能力;並研發出工業級光模組,已經實現首次市場訂單的批量交付。

中天科技10月28日公佈的2025年第3季財報顯示,淨利潤人民幣23.3億元,年增1.1%;前三季營收人民幣379.7億元,年增10.6%。