英商Infinitesima與比利時imec展開合作 推動次奈米晶圓量測技術發展

Infinitesima與imec展開合作，推動Metron3D 次奈米晶圓量測技術發展。圖／Infinitesima提供

進入次奈米時代的晶圓製造環境中，三維（3D）複雜結構與高解析製程監控的需求日益迫切。英國先進量測技術公司 Infinitesima 宣佈與全球領先的半導體研究機構比利時微電子研究中心（imec）展開三年合作專案，目標針對其 Metron3D 12吋線上晶圓量測系統進行功能強化與應用擴展，支援如 High-NA EUV、Hybrid Bonding 與 CFET 等先進製程技術。

此項專案亦獲得 ASML 等產業領導者支持，並將系統實機部署於 imec，協助進行次世代光阻成像與製程控制開發。Metron3D 採用 Infinitesima 專利 Rapid Probe Microscope (RPM) 技術，可在高通量的製造環境中提供真3D、sub-nm 等級的非破壞性量測能力，是應對未來晶片製造挑戰的關鍵解決方案。

根據TechInsights 預測，全球 3D 半導體結構與先進封裝製程將推升晶圓量測市場於2025年達到76億美元，其中線上、高解析度 3D 量測技術被視爲最具潛力的應用領域。

Infinitesima 執行長 Peter Jenkins 表示，此舉不僅強化該公司在線上晶圓量測的領先地位，更代表對於未來先進製程良率控制的承諾。這次合作標誌着Infinitesima 與 imec 自2021年以來夥伴關係的深化，從早期的故障分析應用，邁入高通量、高精度的量產量測階段。