陸拚出EUV真的超車了？外媒曝這顆「神級心臟」遭壟斷 ASML坐穩老大

大陸傳出突破技術門檻打造出EUV原型機。（示意圖/達志影像/shutterstock）

路透上月報導，中國大陸突圍美國半導體封鎖，傳出已成功研發出極紫外光（EUV）曝光機的原型機。這項被外界視爲中國版「曼哈頓計劃」的技術突破，引發了全球科技業的高度戒備。然而，荷媒認爲，即便中國掌握了原型技術，若無法取得德國蔡司（Carl Zeiss）提供的光學系統，ASML（艾司摩爾）在先進製程領域的霸權地位，在未來數年內仍難以被實質撼動。

荷蘭《電訊報》（De Telegraaf）報導，在德國南部的奧伯科亨（Oberkochen）小鎮僅有8000名居民的化外之地，實際上掌握了全球運算力的演化節奏。蔡司公司作爲 ASML 光學系統的全球唯一供應商，其生產的反射鏡被譽爲EUV設備的「心臟」，目前市面上所有旗艦手機與電腦晶片，若缺乏蔡司的光學技術，ASML的曝光機根本無法運作。

爲了將晶片圖案縮小至極限，EUV曝光機必須使用波長僅 13.5 奈米的極紫外光。蔡司半導體光學總裁亨舍（Christoph Hensche）指出，系統的解析度完全取決於反射鏡的精度。儘管蔡司展示櫃中的樣本看起來平凡無奇，但其物理精度比一般鏡子高出5萬倍。亨舍用了一個生動的比喻：「這種極致精度，讓我們能利用雷射光，精準擊中月球上的一顆高爾夫球。」這正是中國目前即便宣稱有原型機，卻仍難以跨越的最高物理障礙。

蔡司與ASML的結盟關係起源於1980年代，當時 ASML 剛脫離飛利浦（Philips）自立門戶。1990 年代，ASML決定砸下數億歐元投入前途未卜的EUV技術時，蔡司是少數情義相挺的戰友。雙方共同走過了2008年金融海嘯等多次經濟危機，靠的是跨國文化的完美互補。

亨舍分析，ASML具備典型的「冒險者」基因，熱衷於承擔風險、搶佔市場；而蔡司則秉持德國嚴謹的「工匠」精神，傾向透過深入分析穩紮穩打；這種「共同冒險」的默契，讓產品總能精準在正確的時間點推向市場。

爲了鞏固這段盟友關係，ASML在2016 年斥資10億歐元收購了蔡司半導體業務24.9% 的股權。目前市場關注的第二代EUV曝光機，其核心改進提升「數值孔徑（NA）」以強化解析度，完全仰賴蔡司在光學技術上的持續突破。雖然未來更有「Hyper-NA」技術在規劃中，但這種技術深度並非一蹴可幾，而是建立在長達數十年的協作數據與工藝累積之上。

對於業界「蔡司理論上可以離開 ASML」的假設，亨舍坦言雖然理論成立，但蔡司完全沒有離開的意願。他強調，雙方相當珍惜這段共同創造的商業奇蹟。對ASML而言，蔡司的鏡子是封鎖競爭對手的最強籌碼；對蔡司而言，ASML的系統則是讓其尖端光學技術轉化爲商業暴利的唯一出口。