國家精準量測技術助攻半導體先進製程 下一步佈局量子應用

標準局以精準量測技術支持產業，半導體先進製程有精準量測技術的關鍵貢獻。圖／本報資料照片

半導體先進製程2奈米制程已進入量產，主要生產基地就在臺灣，精準量測技術是先進製程是否成功的關鍵，經濟部標準檢驗局的「國家度量衡標準實驗室」長期與國內半導體廠商合作，投入先進量測與校正技術研發，其中以X光關鍵尺寸量測系統，成爲支撐2奈米制程發展的重要技術之一。

標準局指出，早期半導體制程在進入奈米尺度後，晶片內部線寬與結構間距極小，傳統量測手段難以清楚掌握，猶如霧裡看花，製程品質與良率提升面臨瓶頸。國家度量衡標準實驗室透過創新量測技術，發展X光關鍵尺寸量測系統，精準掌握關鍵尺寸變化。

同時，SUPERSIZER線上監測系統可監控制程中可能存在的微粒污染與材料異常，協助業者即時修正製程參數，確保材料純度，有效提升晶片效能與良率。

標準局表示，隨着先進製程進入埃米世代，X光關鍵尺寸量測系統將持續升級，配合研發藍圖支援產業發展。

量測技術發展中心執行長藍玉屏表示，未來量子相關量測儀器、感測器等，可能需導入全新的量測與校正技術，目前團隊正密切關注國際發展趨勢，期望在產業正式進入量子應用階段時，能提前做好準備，加速技術銜接與落地。

業者開發先進製程時，國內若無法提供相對應的量測技術，就需要尋求外援、使用國外的設備，將不利於先進程度技術的保密，因此，當國內業者開發非常先進的產品時，非常需要有國家級實驗室的協助，以便將研究的秘密保留在臺灣內部而不必被迫釋出到其他國家。

標準局除了開發奈米級量測技術外，還針對機械類領域開發自校型溫度感測器、運用聲音結合AI快速檢查陸域風機的葉片，以及研發軌道界線量測儀，就地校正，節省時間與成本。