7.0強震衝擊半導體生產　核心設備石英爐管破損成復原最大挑戰

▲7.0地震衝擊半導體生產，核心設備石英爐管破損成復原最大挑戰。（圖／路透）

記者趙蔡州／綜合報導

宜蘭外海於27日深夜11時05分發生規模7.0有感地震，除了造成各地建築發生災情外，也對半導體產業造成重大影響，業者分析這次地震的損害程度僅次於921大地震及去年0403地震，儘管多數機臺可快速恢復，但核心設備石英爐管的破損及備料匹配問題，將是全產線復原的最大挑戰。

根據中央社報導，石英爐管是半導體制造過程中必要的核心設備，主要提供純淨環境以防止矽晶圓受金屬離子污染。然而，石英材料「硬而脆」的特性使其在地震劇烈晃動下，容易因與機臺框架碰撞而損毀，石英爐管的破損不僅直接影響產線運作，更牽動材料供應與修復進程。

記憶體晶圓代工業者力積電錶示，旗下竹科與竹南的8吋、12吋晶圓廠都因地震受損，主要影響石英相關設備及材料，對於財務及產能的影響仍待確認。力積電也強調，這次地震是繼921及去年0403地震後，對公司影響最大的事件，產線能否快速復原將取決於石英爐管的供應情況。

力積電指出，石英爐管的修復和更換需花費較長時間，其他機臺預計能較快恢復運作，但整體復原進度仍仰賴材料供應能否匹配，儘管去年0403地震後已增加石英材料庫存，但若有爐管破損需更換，裝機及校準的時間勢必延長，影響晶圓交期。

此外，記憶體大廠南亞科也表示，目前仍在確認地震災情，預計29日上班時會統一說明。